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型號(hào):

納米激光光刻系統(tǒng)

描述:納米激光光刻系統(tǒng)是專門為科研團(tuán)隊(duì)和加工平臺(tái)設(shè)計(jì)的小范圍多功能光刻系統(tǒng),根據(jù)壓電平臺(tái)的移動(dòng)范圍,分為P100、P200、P500、P1000、P1500等不同型號(hào),具有結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便、維護(hù)簡(jiǎn)單、加工分辨率高、支持多種受體材料等特征,能廣泛適用于各種微納結(jié)構(gòu)及器件制造、材料工藝探素和小規(guī)模生產(chǎn)。該系列產(chǎn)品還可根據(jù)用戶特殊需求,提供定制設(shè)計(jì)和制造。

  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間

    2024-09-25
  • 訪問量

    1900
詳細(xì)介紹
應(yīng)用領(lǐng)域化工激光波長(zhǎng)405nm
特征尺寸100nm激光功率120mW至300mW(可選)
刻寫范圍1500umx1500um

納米激光光刻系統(tǒng)‍是專門為科研團(tuán)隊(duì)和加工平臺(tái)設(shè)計(jì)的小范圍多功能光刻系統(tǒng),根據(jù)壓電平臺(tái)的移動(dòng)范圍,分為P100、P200、P500、P1000、P1500等不同型號(hào),具有結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便、維護(hù)簡(jiǎn)單、加工分辨率高、支持多種受體材料等特征,能廣泛適用于各種微納結(jié)構(gòu)及器件制造、材料工藝探素和小規(guī)模生產(chǎn)。該系列產(chǎn)品還可根據(jù)用戶特殊需求,提供定制設(shè)計(jì)和制造。

新概念技術(shù):華維納LDW-P系列納米激光光刻系統(tǒng)通過激光與材料的非線性相互作用,成功突破了光學(xué)衍射極限的限制,實(shí)現(xiàn)了納米尺度的加工分辨力,最小的孔洞直徑可達(dá)50nm。

多受體材料:華維納LDW-P系列通過高精度的功率調(diào)制(<1‰),可兼容包括金屬薄膜、無機(jī)相變材料、光刻膠等多種受體材料。

 

可靠易用性:華維納HWN-P擁有強(qiáng)大的軟件功能,支持標(biāo)量刻寫、矢量刻寫等多種刻寫模式,供用戶根據(jù)不同的刻寫場(chǎng)景而選擇。另外,LDW-P系列還支持樣品刻寫后的在線分析,使用戶一站式完成設(shè)計(jì)、刻寫、分析等步驟, 大大提高了工作效率。

 

 

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